硅晶圓是一種半導(dǎo)體材料，在經(jīng)過照相制版，研磨，拋光，切片等一系列工序，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圓。這種硅晶圓在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都是多有應(yīng)用。近年來，我國越來越重視硅晶圓的生產(chǎn)，帶動(dòng)了其上下游產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，超純水設(shè)備的應(yīng)用也在其列。

　　硅晶圓生產(chǎn)與超純水設(shè)備是什么關(guān)系?在硅晶圓研磨，拋光，切片這些工序中少不了其身影，超純水設(shè)備主要是為期送去高品質(zhì)清洗超純水，方便其清洗表面的金屬物質(zhì)。那么這樣的超純水設(shè)備是如何制出高品質(zhì)超純水的？

　　該設(shè)備采用預(yù)處理+反滲透+EDI+拋光混床的組合形式來制備超純水。該設(shè)備具有高效低能、運(yùn)行成本低，水資源利用率高、體積較小、維修量小，運(yùn)行的時(shí)間長等優(yōu)點(diǎn)。設(shè)備中應(yīng)用的EDI模塊在運(yùn)行過程中不需要添加任何化學(xué)品，不僅減少了化學(xué)品運(yùn)輸問題，同時(shí)降低了系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用。EDI模塊不會產(chǎn)生酸堿廢液，因此不需要酸堿中和處理。EDI進(jìn)水為二級反滲透產(chǎn)水，水質(zhì)較好。即使經(jīng)EDI系統(tǒng)脫鹽后，EDI濃水水質(zhì)仍優(yōu)于一級反滲透產(chǎn)水，可回流至一級反滲透產(chǎn)水箱。可連續(xù)工作，無需更換樹脂。

　　并且該超純水設(shè)備滿足了各種工業(yè)用水的不同需求，應(yīng)用范圍非常廣泛，可適用于電子、半導(dǎo)體、線路板、集成電路、機(jī)密機(jī)械的生產(chǎn)和清洗，還可以應(yīng)用在食品飲料行業(yè)中和飲用水的制取。設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定的制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水，其占地非常小，可以為企業(yè)節(jié)省很多空間，在符合硅晶圓生產(chǎn)用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的同時(shí)可以使水資源的利用率達(dá)到95%~99%，有效提升了水資源利用率。

　　隨著半導(dǎo)體行業(yè)不斷的發(fā)展，我國對于硅晶圓需求只多不少，側(cè)面帶動(dòng)了超純水設(shè)備的市場需求，未來發(fā)展形勢也是一片大好!

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　　編輯：柒柒   技術(shù)：米